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23
2023-08
【应用案例】半导体行业EtherCAT总线驱控一体转台应用
全研科技针对单晶硅片制造清洗工艺提出了SSDC集成式EtherCAT总线驱动器+YKW系列一体式转台的方案。具有尺寸更小，速度波动平稳等特点。
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